高科技生產中的靜電控制
阿諾爾特．斯坦默, 管偉 博士
2003年北京靜電培訓
專題二：用於半導體及平面顯示器生產之離子化和標準
概論
靜電問題－污染及靜電放電
為什麼選用電離為控制靜電之方案？
生產環境和機台內部電離化
空氣離子
核元素及X光電離
尖端電離
雙極性空氣電離和絕緣體帶電
商用電離器
交流型框架及棒子
穩定直流型
脈衝直流型
放電時間的比較
電離產品可用性
選擇電離器的標準
電離器的性能測試
電離標準
帶電平面監視儀
電離器效能測試
生產環境機台內部之電離化
離子發射器
300毫米晶片廠內天花板式電離器
無塵室電離化
微型環境
在上載及下卸站之電離棒
濕法制程機台中的電離棒
機臺上壓縮氣體性電離
高速甩幹機中控制電荷
四點式電離棒
光罩存放器之出入口
在上載站的電離
扇型電離器在取放處理機
圓片廠電離器的安裝
在平面顯示器中的靜電控制問題
靜電來源：摩擦玻離片
靜電來源：滾動壓輾著的膠片
靜電來源：架臺上的產品
在微型環境和機台中的電離化
玻璃板轉送器內的電離棒
典型的平面顯示器生產設備中電離器之設定
採用四點式電離棒中和玻離板
無塵室電離化
硬碟驅動器組裝線的電離化工作臺
硬碟驅動器組裝線的電離化工作站
靜電控制-振動漏斗中的材料
靜電控制-塑封之電離化
靜電控制-藥品的傳送
靜電吸引-導致稱重誤差
標準及技術指標
美國國家標準局靜電放電標準 ANSI ESD S20.20
S20.20 絕緣體及電離器
S20.20 方案之要求
2003年半導體國際科技指標
2003 國際技術指標～半導體生產
技術上要求-靜電
結論
