高科技生產中的靜電控制

專題一：靜電基本常識

阿諾爾特．斯坦默

Arnold Steinman M.S.E.E

什么是静电？
失效模式和机理
静电产生及控制
电荷
电荷测量单位
静电和移动着的电荷
测量单位
静电场测量器
工作区域中之典型静电
什么是静电放电？
失效的模式
静电怎样影响产品 ？
粒子在带静电表面上的动力
污染研究
静电放电在半导体生产中的影响
在光刻板上的静电放电损坏
磁头上的静电放电损坏
人体模型 – 静电放电情况
机械模型 – 静电放电情况
带电包装 – 静电放电情况
静电放电产生电磁干扰
生产区域中测量电磁干扰信号
怎样引起表面静电？
摩擦生电
感应带电
低能量静电放电导致光罩的破坏
控制静电之方法
使用接地方法消除电荷
传统的接地方法
静电放电接地系统
人员之接地方法：重要因素
型的手腕带组合
消电材料
电阻性范围
电阻计
核试工作鞋
测量工作表面及地面
核试工作表面
系统测试
地面电阻性测试
同心环型电极
关于绝缘体及孤立导体
使用接地消除静电
绝缘体对导电体
为什么选用电离为控制静电之方案？
双极性空气电离和绝缘体带电
带电平面监视仪
有效的防静电放电方案
没有静电之工作站