靜電放電及防護培訓大綱
培訓大綱內容根據行業可分為電子行業、石化行業、軍工行業等
第一講 靜電放電(ESD)介紹
1.1 ESD問題
1.2 ESD定義
1.3 電子工業中的ESD 問題
第二講 ESD意識
2.1 ESD意識
懷疑ESD.大多數損害發生在人的感覺以下,各種影響沒有明顯的界限
2.2 ESD培訓
培訓誰? 管理培訓部門,管理部門的支持,流水線管理培訓,工人,技術員
2.3 代表性的內容的方法
第三講 靜電學歷史
3.1 雷電
3.2 靜電
3.4 導體和非導體
3.5 不同類型的電
3.6 靜電的極性
3.7 感應
3.8 靜電驗電器
3.9 法拉第籠
3.10 麥克斯威方程
3.11 十九世紀二十世紀初其他的發展
3.13 電子工業中靜電問題史
3.12 其他工業 (石油、化工、火炸藥、造紙、印刷、塑膠橡膠等) 靜電問題
第四講 靜電學基本原理
4.1 接觸起電
4.2 摩擦起電
4.3 摩擦起電系列
4.4 感應靜電起電
4.5 其他起電過程
熱電和壓電起電,亥姆霍茲層,噴射起電,液體中的金屬,流動起電
4.6 空氣和其他氣體的擊穿
第五講 靜電學的理論基礎和數學基礎
5.1 靜電力
5.2 電場
5.3 2D 和3D靜電場問題
第六講 靜電起電的物理概念
6.1 分子介面
6.2 固體的能帶結構
絕緣體,金屬,半導體
6.3 費米能級
6.4 功函數
6.5 接觸電勢差或伏打電勢
6.6 接觸起電
一般變數,放電回流,吸附的氣體,功函數的後果,其他變數的影響
第七講 ESD損壞特性
7.1 ESD 失效的特徵
7.2 失效機理的數學模型
7.3 MOS 損壞
氧化破壞的絕緣性質, MOS 器件ESD失效的特徵, MOS器件EOS 失效的特徵, 處理錯誤的特徵,其他MOS 失效機理,閉鎖。
7.4 結的損壞
ESD 引起結失效的特徵, EOS引起結失效的特徵,Wunsch-Bell模型,Speakman 模型,實例計算,Wunsch-Bell模型修正
7.5金屬化損壞
開路金屬化,短路金屬化,短脈衝過程中絕熱條件的實驗驗證，金屬化開路是EOS的特徵,金屬化開路步聚中ESD開路,因ESD的假設金屬化開路
7.6可恢復的損壞
可恢復電荷感應的失效,以後剌激ESD失效的恢復,短路的和退化結的恢復,退化的結,短路的結,恢復機理,介質短路的恢復。
7.7 累積損壞
7.8 潛在效應,潛在ESD失效
NAVSEA 和NASA部門的研究對策和原理
NAVSEA 研究結果, NASA 研究結果
7.9其他潛在失效研究的結果
Martin Marietta 的研究,潛在積累方面的研究, Southhampton 大學的研究,RIT 研究公司的研究,Sandia 國家實驗室的研究, 英國電信的研究,1986年Literature的研究, 1988年失效分析的研究，TriQuint 半導體對基於鎵砷積體電路的研究,累積效應,潛在效應。
第八講，靜電放電損壞模型
8.1前言
8.2人體模型
人體模型的建立,礦務局的數據, 早期的電子工業模型, 標準人體模型, 人體電容的計算,Enoch－shaw的人體測量。
8.3 帶電器件模型
影響ＣＤＭ失效的因素,ＣＤＭ波型圖,ＣＤＭ損壞特性
8.4場感應模型
元件的場感應損壞,僅因場強引起的失效,元件的絕緣部分的場感應,元件類場感應模型放電的有效性,研究結果, ＦIＭ板試驗的數學分析, 在絕緣導體上感應的電勢
8.5機器模型
8.6場增強模型或人體金屬模型
8.7電容耦合模型（ＣＣＭ）
8.8其他模型
懸浮器件模型,暫態感應模型
8.9敏感度分類及試驗
第九講 ESD失效分析
9.1 ESD失效分析概述
9.2 ESD失效分析的途徑
9.3 元件分析
初步分析,外包裝分析,物理解剖,剖開,剖開後重新檢查,內部觀察,失效點隔離,電子顯微探針,顯微外科,化學蝕刻,化學隔離,等離子體蝕刻,液晶態,顯微切片, 掃描電鏡(SEM),SEM電壓對比,電子束感應電流,其他特殊技術
第十講 ＥＳＤ防護設計技術
10.1 設計問題
10.2 ESD免疫設計技術的定義
10.3 電路上的保護器件
10.4 保護器件的應用,通過薄或厚氧化三極管的NMOS保護, CMOS, SOS ,VLSI
10.5 結構的考慮
10.6 處理的變化和敏感度。
10.7 特殊的輸入保護器件
10.8 複合輸入保護電路
10.9 防護帶電器件模型的保護電路
10.10 保護電路的逆效應
10.11 元件的保護
10.12 元件級電氣設計保護
第十一講 靜電放電控制
11.1人體接地, 手腕帶, 安全考慮, 腕帶的問題, 推薦的腕帶, 腕帶與地的連結, 腕帶的檢查 ,腕帶的電阻測試
11.2導電地面/導電鞋,導電地面/導電鞋的應用,導電地面/導電鞋的問題, 導電貼磚的問題, 導電貼面的問題, 防靜電地毯的問題, 地板拋光的問題,
11.3設備的接地, 接地工作表面, 進一步帶電器件失效的考慮, 綜合設備的接地, 接地的考慮,獨立的ESD防護接地, 導電工作表面的接地, 接地失誤斷路器, 靜電危害材料的防護, 必要的靜電危害材料的防護
11.4包裝,靜電屏蔽包裝,靜電屏蔽盒, 均勻材料遮罩袋,多層遮罩袋,組合或轉換袋,防靜電袋。
11.5檢查工作臺, 工作臺和腕帶的檢測器, 離子消電器,服裝,通常可用的服裝, 新導電纖維服裝ESD防護的問題，手套指套，地板他地面覆蓋物, 椅子和桌子,小車.
11.6濕度控制,絕對與相對濕度,獲得高濕度的經濟考慮,
11.7消電器, 高電壓離子消電器, 放射線離子消電器，放射線/脈衝高壓離子消電器, 臺式離子消電器,感應式消電器,使用離子消電器的附加問題
第十二講 防護產品的測試和評估
12.1 電阻和電阻率的測量
12.2摩擦起電的測量
12.3 靜電衰減測試
12.4 洩漏材料
12.5 電壓監測活動
12.6 地板和地板拋光物的評價
12.7 防護袋的考慮
12.8 椅子和小車
12.9 消電器
第十七講 標準
17.1國外標準
美軍標
英國標準
EOS/ESD防電標準
17.2 國家標準
17.3 國家軍用標準
17.4 電子行業標準
第二部分、實驗
摩擦起序列實驗
靜電電壓(場)測量
靜電電荷量的測量
防靜電材料電阻(率)測量
靜電的消除
