中国科学院超高输入电阻接触式静电测试系统

1 目的

在真空中测试离子注入过程中各层板的电压随时间变化的规律，长时间（4小时以上）连续记录多通道（最多可接16通道）信号，要求输入电阻超过1X10¹⁴欧姆以上，不消耗被测试物体电流， 测试电压范围0～±10kV

2方案一

 技术指标

1. 电压测量范围：-10kV～-10kV

2. 输入阻抗：大于1×10¹⁵欧姆

3. 探头直径：小于30mm (接触式测量，可以订做非接触式测量)

4. 测量准确度：误差小于±1%

5. 测量时间：连续

6. 测量通道探头数量：8路

7. 计算机接口：USB,数字光电隔离,提高抗干扰能力

8. 采样速率：总采样率最高100kHz,

9. 软件：OEM版，可以设置各种参数和用户喜欢的系统名称

10. 售后服务：免费技术支持和免费保修1年

2.1 探头

采用EST102或EST102A振动电容静电计的原理，将原探头改成接触式，输入线采用高压硅胶线，输出为航空插头.

u       采用国际上先进的振动电容调制技术，克服了目前直流放大静电表在长时间测量过程中的严重漂移，在带电离子环境中能准确长时间在线连续监测静电；

u       长时间测量不用清零，克服了目前市场上大多数静电测量仪测量前要清零、定时清零或由于清零方法不对所造成的误差；

u       空气湿度大、灰尘多的车间环境也能正常工作；

u       几乎绝缘的接触测量， 对被测量物体几乎没有影响（输入内阻大于1X10¹⁵欧姆）。

u       宽测量范围，有高中低三量程，分辨率高，适用多种用途；一台仪器相当于3台仪器使用。

u       既能迅速准确测量，又能长时间远距离监察和监控；

接触式振动静电探头，输入线采用高压硅胶线，输出为航空插头

2.2 电脑与信号处理系统

探头可以多路，如16路，甚至可以加到32路

探头与电脑信号处理系统

2.3 多功能OEM软件

本软件使用稳定性好，界面可以OEM版，用户可以修改界面上全部信息，如单位信号，各通道名称等。

l         高精度,

l         采用数字光电隔离技术，抗干扰能力强

l         USB总线兼容可在笔记本和各式台式电脑中使用。

l         32路/16路模拟信号输入通道 32路单端/16路双端模拟信号输入通道，可处理各种电信号

l         记录数据长度可以无限长，仅受计算机的内存及硬盘容量限制

l         不用任何编程，就可以设计出自己专业的软件，非常适用没有时间或不了解软件统编程的工程技术人员和教师使用。

l         采集速度 总采样速度100KHZ，板上带4K缓存

l         数据触发方式 连续采集，可以用软件判断进行触发，可以任意触发

l         USB接口 USB接口线，直接与计算机的USB接口相连

可以连续显示曲线，也可以曲线与数字面板同时显示

一基本功能   

2、通道个数设置

3、采样频率设定

4、改变通道名称、单位、小数点位数

5、通道校准，

7、非线形通道校准

二、数据显示

1、波形的X、Y方向的压缩和展开

2、组合面板方式显示 

3、当前屏幕显示任意通道 

4、所有通道同轴显示 

5、以表格、图形方式显示数据 

7、更改曲线、刻度线、软件背景颜色    

8、第二波形显示窗口 

三、数据存盘功能

1、当前显示内容存盘 

2、采集数据自动存盘 

3、定时存盘 

1) 定时存盘(在每天的某时刻开始存盘)  

2) 周期存盘(每过某一时刻保存一次)      

6、保存波形图形与打印输出    

四、历史数据回放功能      

1、打开历史数据 

2、打开历史数据中某一段数据 

3、历史数据自动滚动 

4、对历史数据进行数字滤波

5、对历史数据各个通道进行同步化处理

6、对历史数据进行积分与差分 

五、数据分析功能      

1、X－Y分析功能      

2、FFT谱分析功能     

3、使用MATLAB进行信号处理

2.4优点与缺点

精度高(误差小于1%)，长时间稳定性好(无累积漂移），能在真空及离子环境中工作

     探头体积较小（直么小于30mm），探头可以放入真空室内，也可以放在外面

高压引线约1米，直接与PCB板焊接或引出线相接，高压线可以放入真空中

成本较高，生产周期略长

2 方案二，采用EST113超高阻高压表(静电计)的探头

EST113超高阻高压表(静电计)的主要特点是超高输入阻抗，输入阻抗超过1千万兆欧姆(≥=1×10¹⁴Ω=100TΩ)， 几乎不消耗被测量对象任何电流，而且测量范围宽、准确度高。主要用于高电压测量，特别适用于测量内阻很高的静电发生器，人体静电、油面电位等。

2.1、探头特点：

·        极高的输入阻抗，≥100T Ω=1×10¹⁴Ω

·        宽测量范围，±10V～±10kV  

·        准确度，20%±5字

·        分辨率：10V

·        体积：20cm(长)*15cm（宽）*30cm（高）

·        重量：约1kg

2.2、典型应用

静电电压测量

静电放电发生器校准

静电电压表校准

高阻高压测量

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